半导体设备隔振台架（电控空气弹簧型）

产品描述：

优良的不锈钢工作台面和高刚度支撑钢架桌腿之间装有ADS主动控制膜片式空气弹簧，可抵消受到微小振动的影响。简化的设计使其可以成为工作站环境的一部分，无需后续调整。

 

ADS-ICD 结构

基于膜片的空气弹簧，外壳、支撑板和底板由铝制成。

 

 

ICD空气弹簧系统构成

· 4 个空气弹簧

-3个带传感器和控制阀的ADS主控空气弹簧

-1 个无传感器和阀门的ADS被控空气弹簧

· 1 个控制单元，3 通道电路板带有 USB 接口

· 主控弹簧的通信电缆

· 压力调节阀（NW 4 模块）

· 电源适配器

 

 

选 项

· 控制单元：塑料外壳中的电路板

· 控制电缆的连接器

· 过滤器 - 调节器组件由压力调节器、压力表、过滤器、水分离器组成

· 控制电缆：3 根控制电缆的长度符合客户需求

· Air Level Control 软件

· USB 线缆

· 根据空气弹簧的数量，增加软管和连接器

系统功能

空气弹簧具有出厂默认配置。同时，通过控制软件可以改变以下参数：复位精度、允许的变形量、响应时间、平均高度。这些参数可以被查看，调整，并永久地存储在每个弹簧中。即使在断电后，这些值也会保留。可以通过控制软件恢复默认配置。

 

 

控制单元

 

调节参数

· 复位精度：

-粗略 (± 0.5 mm）

-精准 (± 0.1 mm)

-用户定义 (± 0.01 - 1 mm)

· 允许偏差（变形量）

-宽 (± 1.0 mm)

-窄 (± 0.5 mm)

-用户定义 (± 0.01 - 1.5 mm)

· 响应时间

-快 (10 ms)

-慢 (125 ms)

-用户定义 (5 - 125 ms)

· 工作高度

-中间位置 (± 5 mm),

-电位计调整

-控制软件调整

 

 

ADS主动控制膜片式空气弹簧选型参数：

ADS系列型号	D	0	Ni	A	最大负载 kN
ADS 3	105	65	±5	106	1.8
ADS 6	127	90	±6	130	2.8
ADS 12	175	90	±6	175	6.0
ADS 24	245	90	±6	255	13.0
ADS 48	338	90	±6	343	26.0
ADS 96	468	90	±6	470	55.0
ADS 192	610	90	±6	610	100.0

单位：mm

注：根据用户需求可定制，有一系列定制选项可供选择。

 

 

应用范围：

高精度工具对振动敏感，需要振动隔离才能获得好的性能。

 

关于THERMOTEST：

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