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单温区PE-CVD系统

货号 TFE-1200-50-220
品牌 科幂仪器
发货地 安徽省合肥市
交期 现货
规格 按需
参考价格 议价 
更新时间 2023-11-28 14:32:27

安徽科幂仪器有限公司

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产品特点

产品特点

高性能射频电源.等离子体更稳定；

滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区；

可实现快速升温和降温功能；与传统CVD相比较，生长温度更低。

技术参数

项目	型号	TFE - 1200 - 50 - 220
最高温度		1150℃（短期）
额定温度		1100℃
推荐升温速率		≤10℃/min
控制精度		±1℃
炉管尺寸		Φ30/50/60*1200mm
炉膛尺寸		Φ80*220mm
加热区长度		220mm
恒温区长度		80mm
加热元件		优质国产电阻丝
额定功率		3KW
供气系统		三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制）
射频电源		射频功：5-500W；射频频：13.56MHz；匹配方式：自动匹配
真空系统		双级旋片真空泵（可定制扩散泵分子泵等）
外形尺寸		1250510810mm

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