Micropump齿轮泵GAT 系列泵在半导体应用

何时精密计算

Micropump GAT 系列泵在半导体应用

坚固耐用和精密. 使用Micropump的GAT系列不需要为了工艺而妥协. 在半导体制造中，非预期的流量变化和早期泵故障是代价高昂的责任。Micropump®是苛刻环境下精密泵送的专家，专门为半导体制造环境开发了GAT系列。采用最高质量的材料和驱动技术设计，这款紧凑的泵系列可靠地管理苛刻的化学添加剂，而不影响半导体制造所需的可重复的微精度。

精密

•磁力驱动

•提供精确计量或添加浴添加剂到混合室.

•高可重复性，在所有流体和系统特性下，流量精度至少为±5%保持不变

•连续，无脉流量速率从50 mL/min到400 mL/min与单一产品

• 对于特殊的应用，额外的

耐用

•几乎非金属结构确保了与最广泛的添加剂化学物质的化学相容性

.•单一静态密封消除泄漏隐患.

•额外的Micropump®产品可采用特制金属，以获得最佳的化学兼容性.

紧凑

•高效节能的集成驱动器为9-cu-in泵和电机包，占地面积最小

关于 Micropump 输送解决方案创新者Micropump®成立于1960年，专门从事低流量齿轮泵，为需要精确流体控制的OEM和工业泵应用提供标准型号、配置定制选项和定制解决方案。Micropump®是磁力驱动齿轮泵技术的革新者，今天被公认为微型、低流量、容积泵的设计和开发的领导者;齿轮泵用工程复合齿轮;和电磁驱动器。Micropump®是IDEX公司的子公司，该公司是全球流体行业的领导者，服务于高增长的专业市场。IDEX在高度设计的流体系统和组件以及消防和安全产品方面的专业知识最为知名，包括Jaws of Life®系列的救援和恢复工具。全球分布Micropump®公司总部位于美国华盛顿州温哥华，在欧洲和亚洲设有销售办事处，为全球提供产品。遍布全球的分销商网络和一支由专业人士组成的队伍为客户提供个性化服务和客户关怀。